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具有過電流保護的電容式微加工超聲換能器

937   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:44
一種CMUT單元的陣列具有DC偏置電壓，所述DC偏置電壓被耦合至單元的頂部電極以將所述電極偏置到期望的塌陷或部分塌陷狀態。在CMUT單元的短路失效的情況下，針對所述單元的保護電路感測過電流狀況，并且通過斷開通過失效的單元的DC電流路徑而做出響應。所述保護電路還禁用所述單元的發射和接收電路。在另一實施方案中，感測電路感測DC偏置源的過電流狀況，并且通過禁用所述陣列的所有CMUT單元而做出響應，然后順序地重新啟用所述CMUT單元，除了重新啟用失效的單元的嘗試導致該單元保持在禁用狀況下的情況。
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