合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 失效分析技術

> 圓片級封裝的MEMS芯片的開蓋裝置

圓片級封裝的MEMS芯片的開蓋裝置

791   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:01:24
圓片級封裝的MEMS芯片的開蓋裝置,由開蓋夾具、電爐和真空系統組成,開蓋夾具置于電爐上,電爐置于真空室中;開蓋夾具由頂層、上層、下層、導向桿和牽引裝置組成,導向桿從頂層和上層穿過,固定在下層上,牽引裝置位于頂層和上層之間,頂層的主體是頂板,頂板通過頂螺絲固定在導向桿上;下層的主體是下板,下板上有下窗口,下窗口左右兩側有下固定夾板和下活動夾板,下螺絲與下活動夾板連接;上層的主體是上板,上板由上板凸起和平層部分組成,上板上有上窗口,上窗口前后兩側有上固定夾板和上活動夾板,上螺絲與上固定夾板連接。本裝置可在真空中熔化焊料,通過牽引裝置將蓋板與MEMS結構層分離,除去圓片級封裝的MEMS芯片的蓋板,為后續失效分析做準備。
登錄解鎖全文
聲明:
“圓片級封裝的MEMS芯片的開蓋裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
失效分析
全國熱門有色金屬技術推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX