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芯片表面金屬殘留及沾污的清理方法

768   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:22
本發明涉及芯片分析技術領域，公開了一種芯片表面金屬殘留及沾污的清理方法，包括如下步驟：S1：將芯片放置在圓晶上；S2：噴上受熱揮發的有機試劑；S3：使用膠帶覆蓋芯片樣品；S4：加熱至試劑揮發；S5：試劑揮發后撕下膠帶；有機試劑可以清潔圓晶與芯片上的雜質，同時還能保護芯片，杜絕清理過程中的靜電對芯片的影響，有機試劑可采用乙醇或者四氯化碳等試劑，膠帶可以讓有機試劑在揮發時不會讓雜質移動，能固定雜質的位置，不會再次碰到芯片，有效清潔樣品表面，更容易尋找到失效點，提高FA成功率。
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聲明：
“芯片表面金屬殘留及沾污的清理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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