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機械手及其獲取傳輸晶圓的方法

942   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:07
本發明涉及半導體設備領域，公開了一種機械手及其獲取傳輸晶圓的方法，晶圓在運輸通道內進行運輸時，通過水平導軌與第一紅外發射端等設置，將晶圓片推至既定位置處，便于后續機械爪直接取出晶圓片，從而避免晶圓在運輸通道內傳輸時對其實時檢測相對位置，同時，避免通過調整機械爪的位置以適應不同偏移程度的晶圓進行抓取，費時費力且降低運輸效率，機械爪轉運晶圓過程中，若夾緊組件失效，導致晶圓發生位置偏移，通過第二紅外發射端等設置，在機械爪運轉晶圓的過程中，實時對晶圓的相對位置進行檢測并實時調整，避免在發生意外偏移后停止機械爪的操作，耽誤時間降低機械爪的運轉利率。
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“機械手及其獲取傳輸晶圓的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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