合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 失效分析技術

> 化學機械研磨設備

化學機械研磨設備

831   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:05
化學機械研磨設備包括：布置在機械臂保持部分上的反向傳感器安裝孔、布置在反向傳感器安裝孔內的機械臂傳感器、以及布置在機械臂部分上的檢測對象。由于機械臂部分相對于機械臂保持部分的旋轉，當機械臂部分上設置的檢測對象所形成的扇形的開口部分對應于反向傳感器安裝孔位置處的機械臂傳感器時，安裝孔處的機械臂傳感器感測到機械臂，從而機械臂傳感器發出復位通知信號；而且，處理單元在從機械臂傳感器接收到復位通知信號之后才啟動對待處理晶圓的化學研磨處理。所以，該改進設計解決了原有機臺設計的一個缺陷：當傳感器失效時，如果機械臂不在位置機臺也不會停止研磨。只有當傳感器工作正常而且機械臂位置正確時候機臺才可以開始研磨處理。
登錄解鎖全文
聲明：
“化學機械研磨設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
失效分析
上一個：NAND閃存存儲設備及其數據恢復方法
下一個：分體式耐磨鑄鐵成分取樣模具

與 “化學機械研磨設備” 相關技術

? 超聲波輔助粉末冶金成型裝置
? 冶金物料用滾筒烘干機的支撐傳動裝置
? 螢石粉制球用壓球機
? 粉末冶金設備及用于VVT系統中殼體鏈輪的制造方法
? 礦山開采用地質鑿孔設備
? 礦山固廢膠結充填料混料裝置
? 礦山設備運行安全態勢評估方法及系統
? 多地形鉆孔劈裂一體機
? 鑿巖臺車的鉆臂折疊機構
? 用于礦山設備輪軸拆裝的液壓維修設備

相關失效分析設備推薦

拉伸試樣標距儀
順磁式氧純度分析儀
便攜式超聲波檢測儀
數顯洛氏硬度計HRS-150
上拉下壓試驗機-50T
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?超聲波輔助粉末冶金成型裝置
?冶金物料用滾筒烘干機的支撐傳動裝置
?螢石粉制球用壓球機
?粉末冶金設備及用于VVT系統中殼體鏈輪的制造方法
?礦山開采用地質鑿孔設備
?礦山固廢膠結充填料混料裝置
?礦山設備運行安全態勢評估方法及系統
?多地形鉆孔劈裂一體機
?鑿巖臺車的鉆臂折疊機構
?用于礦山設備輪軸拆裝的液壓維修設備

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:138
2 取、制樣安全淺析
下載:130
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:106
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:97
5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:94
6 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:94
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:92
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:90
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:89
10 制樣室裝修設計技巧
下載:88
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX