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基于凝膠作用固定大高寬比微納結構的方法

856   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:55
本發明涉及一種基于凝膠作用固定大高寬比微納結構的方法，其步驟為：(1)配置好熱溶膠，濃度為：0.1％～2.0％，熱溶膠溫度為：50～95℃，凝膠化溫度：＜40℃；(2)將熱溶膠添加于微納結構上，改變溫度形成凝膠層，并通過旋涂或提拉工藝控制凝膠層的厚度及平整度，將大高寬比微納結構固定在凝膠層中；(3)對已固定的大高寬比微納結構進行檢測或添加夾具；(4)將檢測過的樣品置于熱水浴中，去除微納結構上的凝膠。本發明通過在微納結構中形成凝膠來消除溶劑揮發所產生的液體表面張力，從而防止結構失效，將工藝形成的微納結構有效地固定住，這樣可以通過檢測大高寬比微納結構的好壞來進行工藝評價，以此來保證加工工藝的有效性。
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