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帶有三向沖擊傳感器芯片的彈載記錄儀

1013   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:50
本發明涉及高沖擊信號檢測技術領域，特別涉及一種帶有三向沖擊傳感器芯片的彈載記錄儀，包括有主控模塊、電源模塊、信號處理電路、信號調理電路和存儲模塊，所述彈載記錄儀還包括有三向沖擊傳感器，所述三向沖擊傳感器包括有晶圓襯底和三個檢測沖擊加速度的敏感元件，每個敏感元件均包括有若干個長條狀的硅梁和兩個并列且在同一平面的質量塊，所述晶圓襯底設置有若干個用于容納質量塊的方形槽，所有能夠與同一個質量塊抵觸配合的硅梁上均設置有應變電阻，所有應變電阻均電性連接有引腳，本發明大大鎖緊彈載記錄儀的體積，解決了采集模式單一的問題，解決測試準確性不高的問題。能夠降低檢測失效的可能性。
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“帶有三向沖擊傳感器芯片的彈載記錄儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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