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電容式微機械加速度計

823   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:48
本實用新型公開了電容式微機械加速度計，屬于微機械傳感器的技術領域。加速度計包括：硅片基座，形成在硅片基座上的絕緣層，沉積在絕緣層上的檢測電容層，以及多晶硅活動結構屏蔽層，多晶硅活動結構層通過檢測電容層的支撐懸空，多晶硅活動結構屏蔽層中的質量塊在加速度作用下帶動支撐梁發生位移，檢測電容極板之間的電場線會發生變化，由電場線變化得到的電容變化值即為測量的加速度信息。利用邊緣電場效應設計的電容式微機械加速度計，在大量程下具有大靈敏度，在激勵電容和外加激勵電壓作用下,檢測電容使其具有自檢功能且不會發生吸附失效。?
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