本發明公開了一種自激式全固態射頻電源,包括射頻信號發生器、射頻功率放大電路、供電線路、控制器和精密功率檢測器,精密功率檢測器包括有相位比較電路,檢測射頻功率放大電路輸出至負載的入射功率和反射功率;射頻信號發生器將根據入射功率和反射功率來調整其輸出功率信號的頻率,以使得射頻功率放大電路輸出至負載的反射功率小于入射功率的1%,控制器根據入射功率和反射功率來調整供電線路施加至射頻功率放大電路的電壓。本發明能夠實現高精度的射頻功率檢測,檢測范圍寬,精度一致性好,死區小,能夠實時保護射頻功率放大電路,避免損壞失效。
聲明:
“自激式全固態射頻電源” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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