本發明公開了一種振動式單框架微控制力矩陀螺,屬于利用科氏效應的制導或控制裝置領域。該機構由單一的結構層和支撐結構層的玻璃基底構成。結構層中,轉子由弧形梳齒驅動,并通過支撐梁連接到框架上;框架由玻璃基底上的電極驅動,并將運動傳遞給轉子;最終梳齒和框架的運動通過科氏效應產生輸出力矩。該發明的有益效果是:1)結構層上的梳齒和外框電位可以實現分別控制;2)結構簡單,轉子和框架處于同一層,加工工藝較簡單;3)采用折疊梁結構實現大位移驅動,減小結構的非線性效應,同時降低了驅動電壓;4)在結構設計時分析推導了驅動用電極和結構層之間的尺寸關系,以避免“靜電吸合”現象的產生,防止結構失效。
聲明:
“振動式單框架微控制力矩陀螺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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