本發明的目的在于提供一種基板坐標方式,代替人工坐標;包括以下步驟:S1:首先需要將所有樣品的sub mapping坐標統計;S2:將樣品坐標輸入到開發的excel表格中,自動生成我們需要的基板坐標示意圖;S3:直接復制坐標,能快速獲得基板坐標示意圖。并通過該示意圖能快速初步的分析測試不良樣品可能的失效原因;提高分析效率;本發明的有益效果為:提高工作效率,節約人力。
聲明:
“基板坐標方式” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)