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集成電路貯存使用薄弱環節識別及工藝改進方法

782   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:36
一種集成電路貯存使用薄弱環節識別及工藝改進方法，包括以下步驟：對集成電路貯存使用環境進行分析，確定貯存使用過程中使用年限主要影響因素；分析主要影響因素作用下的失效模式和失效機理；根據貯存使用環境以及失效模式、失效機理的分析結果，確定對集成電路進行加速壽命試驗所需要的應力，對集成電路進行加速壽命試驗；在加速壽命試驗的過程中，選擇測試節點對集成電路性能參數進行測試，并抽樣進行質量分析，如果失效，則進行失效分析；根據加速壽命試驗結果判斷貯存使用年限是否滿足要求，如果不滿足要求，則對貯存使用薄弱環節進行識別；根據識別出的薄弱環節針對相應制造工藝進行改進。本發明能夠有效提升產品的質量和貯存使用可靠性。
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