本發明公開了一種叉指狀測試結構,包括:在第一方向上相對設置的多個金屬結構;其中,所述金屬結構包括:第一金屬線結構;與所述第一金屬線結構垂直設置連接的多條第二金屬線結構;設置于相鄰兩條所述第二金屬線結構之間的第三金屬線結構;所述第三金屬線結構為預設數量的短金屬線之間按照預設距離進行依次排布,且排布方向垂直于所述第一金屬線結構;所述第三金屬線結構與所述第一金屬線結構以及所述第二金屬線結構之間均不連接;在所述第一方向上的所述第一金屬線結構之間相互連接;在所述第一方向上的所述第三金屬線結構中的相鄰的短金屬線之間相互連接。該叉指狀測試結構可以精確定位失效點的位置。
聲明:
“叉指狀測試結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)