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剔出芯片點測過程中不良晶粒的裝置

842   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:21
本實用新型提供一種剔出芯片點測過程中不良晶粒的裝置，該裝置是在晶圓片測試芯片晶粒時，發現不合格的失效晶粒，在失效晶粒上正常打點，并注入磁性油墨，在切割、分離后的晶粒兩側，布設兩根非磁性導軌，導軌距分離后的晶粒的高度在4-6mm，在兩根導軌之間架設一磁鋼滾筒，磁鋼滾筒受電機帶動，沿導軌來回滾動，吸出晶圓片上的不良晶粒。所述磁性油墨的磁極性與磁鋼滾筒的磁極性相反。本實用新型的優點是，剔出不合格晶粒效率高，成品率高，大大降低了生產成本。
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