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硅通孔測試方法、裝置和計算機可讀存儲介質

1278   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:20
本公開實施例提供了一種硅通孔測試方法、裝置和計算機可讀存儲介質，應用于芯片堆疊結構，該芯片堆疊結構包括堆疊形成的多個芯片，且多個芯片之間通過硅通孔連接；該方法包括：基于第一預設陣列，向第一芯片寫入第一測試數據；基于第二預設陣列，向第二芯片寫入第二測試數據；對第一芯片和第二芯片進行數據讀取處理，得到第一目標數據和第二目標數據；比較第一目標數據和對應的第一測試數據，以及比較第二目標數據和對應的第二測試數據，根據比較結果判斷芯片堆疊結構中的硅通孔是否存在失效風險。這樣，本公開實施例提供了針對硅通孔的測試方法，能夠測試硅通孔是否存在失效風險，且不影響器件的性能。
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