本發明提供一種測試氧化膜硅基產品硼元素含量的方法,包括使用二次質譜儀檢測一級標樣的離子強度,計算出RSF值,利用RSF值計算出樣片一、樣片二和樣片三的硼元素濃度,用已知樣片一、樣片二和樣片三的硼元素濃度除以計算出的樣片一、樣片二和樣片三的硼元素濃度,得出3個修正系數,在計算出修正系數的平均修正系數,檢測待測樣片的硼離子強度,得出臨時硼元素濃度,用臨時硼元素濃度乘以平均修正系數得出最終待測樣片的硼元素濃度。本發明的有益效果是有效的解決硼元素含量過多導致產品失效,現有技術測量元素濃度存在不準確性,不能保證RSF值是否正確,檢測速度慢的問題。
聲明:
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