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測試結構

910   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:14
本申請實施例提供了一種測試結構，可以包括第一金屬線、第二金屬線，以及第一金屬線和第二金屬線之間的介質層，第一金屬線用于連接第一電壓，第二金屬線用于連接第二電壓，其中，第一金屬線通過連接入一個電編程熔絲來連接第一電壓，和/或，第二金屬線通過連接入一個電編程熔絲來連接第二電壓。第一電編程熔絲和第二電編程熔絲在正常工作時電阻較小，但是在介質層擊穿之后整個電路回路中產生較大的電流，此時第一金屬接入的電編程熔絲和/或第二金屬接入的電編程熔絲的電阻驟然變大，此時的電編程熔絲由于大電阻起到分壓/降電流作用，抑制了電介質擊穿處的電流而減弱擊穿損傷，利于后期對擊穿位置的物理失效分析。
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失效分析
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