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用于遠程感測等離子體的系統和方法

854   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:14
本發明提供一種用于遠程監測等離子體(3)的方法和系統，該系統包括位于耦合等離子體源的近電磁場中的磁場天線(2)，其中，該磁場天線是置于該近電磁場中的磁環天線并測量從該等離子體源發射的近場信號。一種無線電系統(1)用于分析寬頻帶上的低功率信號電平。通過對驅動頻率的高次諧波上所存在的諧振特征進行擬合來評估諸如串聯或幾何諧振等離子體頻率、和電子中性碰撞頻率之類的等離子體參數，以標識制造等離子體系統中常見的電弧、泵、或匹配失效事件。
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“用于遠程感測等離子體的系統和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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