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用于SMIF裝載通道的晶圓檢測集成裝置及SMIF裝置

896   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:06
本發明提供一種用于SMIF裝載通道的晶圓檢測集成裝置及SMIF裝置，該晶圓檢測集成裝置包括框架結構以及固定集成在框架結構上的用于檢測晶圓的光源、分光器、傳感器等部件。上述部件在框架結構上以預定的角度安裝，該預定角度使得每一個傳感器均能夠接收光源發出光柱。本發明將上述各部件集成到一個框架結構上，然后以集成的形式安裝至SMIF裝載通道的通口處，這樣的集成方式便于上述各部件在SMIF通道裝置上的安裝。并且上述各部件的設置使得各傳感器能夠準確接收光源發出的光柱，不會因為SMIF的運行過程中的振動而發生位移偏離，能夠始終保證傳感器的靈敏度。如果傳感器失效，只需更換新的晶圓檢測集成裝置，SMIF系統無需長時間停機，提高生產效率。
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“用于SMIF裝載通道的晶圓檢測集成裝置及SMIF裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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