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真空封裝器件內部氣氛的檢測方法、氣密容器及檢測設備

917   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:59
本發明涉及一種真空封裝器件內部氣氛的檢測方法、氣密容器及檢測設備。上述真空封裝器件內部氣氛的檢測方法通過將真空封裝器件置于氣密容器中，并破壞真空封裝器件的氣密性，使真空封裝器件的內部氣氛與氣密容器的內部氣氛混合，使真空封裝器件內部極少的氣氛混合進足夠多的氣氛中。氣密容器的內部氣壓高于真空封裝器件的內部氣壓，可以用常規方法對混合氣氛進行檢測，由于氣密容器的內部氣氛已知，檢測出混合氣氛后，即能夠推算出真空封裝器件的內部氣氛的成分及其含量。上述檢測方法可以打破現有檢測設備的局限，實現對真空封裝器件內部氣氛的定量測試，可有效支撐真空封裝器件工藝的提升以及DPA、失效分析、機理分析可靠性研究等工作。
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