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在晶圓上快速選取失效晶粒的薄膜及使用方法

1003   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:38
本發明公開了一種在晶圓上快速選取失效晶粒的薄膜及使用方法，該薄膜是由絕緣材料制成的具有透明性質的薄膜，其中，該薄膜上標示有坐標系，該坐標系與晶圓上的測試坐標系對應。該薄膜的使用方法，包括步驟：1)根據晶圓上測試出的失效晶粒坐標，在薄膜上的相應坐標處標注記號；2)利用薄膜上存在的坐標系和對準標記，與晶圓對準后，將薄膜貼在晶圓上；3)揭去薄膜后，薄膜上的相應坐標處的記號就轉移到了晶圓上。利用本發明可以準確、省時地在晶圓上找到失效晶粒，給選取失效晶粒工作帶來極大便利。
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