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硅晶圓線切割液回收過程中失效離子交換樹脂再利用的方法

984   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:36
一種硅晶圓線切割液回收過程中失效離子交換樹脂再利用方法，屬于硅晶圓線切割領域，主要包括1）水沖洗；2）酸液浸泡；3）混合試劑浸泡；4）氧化劑浸泡；5）水養備用這五個步驟；解決了硅晶圓線切割液回收行業樹脂失效后難復蘇等問題。本發明引進的強氧化劑NaClO將雜質中大分子有機物氧化成小分子有機物，在高速攪拌的情況下，使其更容易與樹脂分離。由于接觸時間短，溫度控制合理，對樹脂的本體及交換基團無損壞。本發明針對由金屬離子、可溶性金屬絡合物、可溶性硅化物、有機物等引起的離子交換樹脂失效，復蘇后離子交換能力均能明顯恢復。通過實驗檢測和現場實踐，復蘇后離子交換樹脂，其性能未發生改變，交換容量基本達到新樹脂的水平。
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