金屬短路失效定位結構和方法

本發(fā)明公開(kāi)了一種金屬短路失效定位結構，包括：第一和第二金屬繞線(xiàn)結構；在短路失效檢測區域中，第一金屬繞線(xiàn)結構包括多條平行的連接成蛇形結構的第一金屬線(xiàn)段，第二金屬繞線(xiàn)結構包括多條電連接在一起的第三金屬線(xiàn)段，各第三金屬線(xiàn)段和對應第一金屬線(xiàn)段相鄰；第一金屬線(xiàn)段的首尾連接通過(guò)位于更高層的金屬層組成的第二金屬線(xiàn)段實(shí)現。第二金屬線(xiàn)段在電性確認過(guò)程中保留以及在失效定位過(guò)程中去除使第一金屬線(xiàn)段之間斷開(kāi)連接，利用被動(dòng)電壓襯度對比定位和第二金屬繞線(xiàn)結構短路的第一金屬線(xiàn)段。本發(fā)明還公開(kāi)了一種金屬短路失效定位方法。本發(fā)明能完全定位到金屬短路的失效位置且能實(shí)現對nA級別的金屬短路失效位置進(jìn)行定位。