本申請公開了一種亞表面納米尺度失效行為顯微成像的裝置,用于實現一被測儲能電介質材料和器件亞表面熱釋電行為的高分辨顯微成像,該裝置進一步包括:亞表面熱釋電信號原位激發模塊,用于原位激發所述被測儲能電介質材料和器件的亞表面熱釋電電流信號;熱釋電信號原位檢測模塊,用于對所述被測儲能電介質材料和器件的亞表面熱釋電電流信號進行原位實時檢測;熱釋電信號顯微成像模塊,根據所述熱釋電信號原位檢測模塊的檢測信號,對所述被測儲能電介質材料和器件的亞表面熱釋電信號的高分辨顯微成像并顯示。本申請將原子力顯微鏡成像功能、焦耳熱效應、熱波效應和熱釋電效應相結合,建立其基于原子力顯微鏡的亞表面納米尺度失效行為高分辨顯微成像的裝置。
聲明:
“亞表面納米尺度失效行為顯微成像的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)