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SRAM失效在線測試方法

870   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:34
本發明提供了一種SRAM失效在線測試方法，包括：獲取晶圓圖像，圖像包括多個SRAM的圖形；對圖像進行處理，獲取SRAM圖形的特征值；通過特征值提取相鄰圖形之間的最小距離；若最小距離小于閾值，則判斷SRAM已失效。在本發明提供的SRAM失效在線測試方法中，通過獲取SRAM的圖形，對SRAM圖形的處理提取SRAM圖形的特征值，根據特征值判斷相鄰的SRAM圖形的間距，從而判斷相鄰的SRAM圖形是否有短路連接。本發明實施例提供的SRAM失效在線測試方法可以在線判斷SRAM是否短路，實時識別晶圓是否出現不良，減少晶圓不良品的判斷的時間，提高工作效率，提升晶圓的良率。
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