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預測晶圓失效率的方法及其裝置

1049   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:34
本發明提供了一種預測晶圓失效率的方法及其裝置。通過對多個目標晶圓的預定項目的測量結果和所述預定項目對應的項目失效率進行擬合運算，以獲得目標晶圓的預測失效率，進而能夠在晶圓的生產過程中即可以高效準確的預測目標晶圓的晶圓失效率。
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“預測晶圓失效率的方法及其裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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