本發明提供一種檢出電子器件漏電失效點的方法,其特征在于:在漏電失效器件的過電截面上以漸增的方式加載電應力載荷,直到利用顯微鏡能夠觀察到該過電截面上出現局部燒蝕區域或局部燒熔區域,從而確定該局部燒蝕區域或局部燒熔區域即為電子器件漏電失效點。采用該方法無需具備紅外顯微熱成像設備的實驗條件下,就能夠快速而簡易地找到或確認元器件漏電的具體部位,特別適用于通過常規顯微觀察等方法所不能確定失效點的元器件。
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