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存儲器芯片的失效分析方法

742   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:31
本發明涉及一種存儲器芯片的失效分析方法，包括：確定失效點所在的熱點區域；確認存在漏電的字線；對所述存在漏電的字線施加偏壓，同時觀察位于所述熱點區域內的位線的電壓襯度，直至尋找到所述熱點區域內出現異常電壓襯度的失效位線；對所述失效位線進行失效分析。上述方法能夠提高失效分析效率。
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