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功率器件的失效分析方法

722   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:30
本申請公開了一種功率器件的失效分析方法，包括：去除集成有功率器件的晶圓的正面的第一金屬層；通過失效點定位機臺對正面失效區域進行定位后，對正面失效區域進行標記，得到正面失效標記；通過失效點定位機臺在背面查找到正面失效標記，對背面失效區域進行定位，背面失效區域是正面失效區域在背面的對應區域；通過失效點定位機臺對背面失效區域進行標記，得到背面失效標記；根據背面失效標記對背面失效區域進行失效分析。本申請實現了對晶圓的背面進行失效分析，提高了失效分析的準確度。
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聲明：
“功率器件的失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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