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用于失效分析的樣品的處理方法及失效分析方法

1219   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明提供了一種用于失效分析的樣品的處理方法及失效分析方法，所述用于失效分析的樣品的處理方法包括：在晶圓上獲取待分析的芯片樣品；將所述芯片樣品去層至目標銅金屬層結構上表面；在所述目標銅金屬層結構上表面的待檢測位置形成鍍碳保護層。本發明的技術方案降低了金屬表面出現銅擴散的概率，使得在失效分析過程中制備芯片樣品的失敗率大大降低，并且縮短了分析周期，加快了找到芯片失效關鍵原因的速度。
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“用于失效分析的樣品的處理方法及失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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