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同時激發縱-橫波的ZnO壓電涂層材料及其制備方法與應用

1071   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:26
本發明提供一種同時激發縱?橫波的ZnO壓電涂層材料的制備方法，包括在基體上依次形成結合層、ZnO壓電涂層、保護層和電極層；其中，ZnO壓電涂層的制備方法包括：真空條件下，采用Zn靶材或ZnO靶材，通過磁控濺射在所述結合層表面形成ZnO壓電涂層；所述磁控濺射中，通入氬氣與氧氣的混合氣體；所述混合氣體中，氬氣與氧氣的流量比為2:1～1:3。本發明還提供一種基于上述制備方法制得的ZnO壓電涂層材料，ZnO壓電涂層在基體表面呈現不同的取向，具有能夠同時被超聲波的橫波和縱波激發的特性。本發明還提供一種智能螺栓，其表面設有上述ZnO壓電涂層材料，能夠同時被超聲波橫波和縱波激發，進而能夠簡化預緊力計算步驟，易于實現螺栓預緊力的高精度無損測量。
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