本發明涉及一種材料表面粗糙度的確定方法及系統。該方法包括獲取材料集合;利用掃描電子顯微鏡對所述材料集合中的材料進行掃描,確定二次電子像集合;對所述二次電子像集合進行灰度處理,得到灰度圖像集合;根據灰度圖像集合每一灰度圖像對應的灰度值與對應的表面粗糙度確定灰度值與表面粗糙度的對應關系曲線;獲取待確定的材料;利用掃描電子顯微鏡對待確定的材料進行掃描,確定二次電子像;并對二次電子像進行灰度處理;根據灰度處理后的二次電子像的灰度值以及灰度值與表面粗糙度的對應關系曲線確定待確定的材料的表面粗糙度。本發明在真空條件下進行非接觸式測量,樣品不易受污染且無損傷,并具有易精確控制、工藝簡單的優點。
聲明:
“材料表面粗糙度的確定方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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