本發明公開了一種半導體制備裝置用超高純凈不銹鋼管生產線,包括第一生產區域、第二生產區域、第三生產區域、第一橫移區域和第二橫移區域,所述第一生產區域包括精軋管設備、內外脫脂裝置、光亮熱處理裝置、矯直裝置和齊頭裝置,第二生產區域包括精密拋光設備、表面檢查臺和超聲波渦流聯合無損探傷設備,第三生產區域包括電解拋光和清洗裝置、純化和清洗裝置、吹掃干燥裝置和包裝裝置。通過上述方式,本發明采用自動化裝備與流程間的智能化傳送裝置相結合,構成基本智能化生產線,使流程順暢、管線連線短,避免生產流程的交叉和迂回往返,使得半導體制備裝置用超高純凈不銹鋼管制造全程連續生產,保證了整個生產過程高效運行。
聲明:
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