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光學成像系統、方法、裝置及存儲介質

1048   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:23
本發明涉及光學成像系統、方法、裝置及存儲介質，該光學成像系統包括：聚合物彈性探針陣列、光學透鏡、攝像裝置和處理裝置；通過控制裝置控制聚合物彈性探針陣列以恒定高度接觸式掃描待測樣品表面；光學透鏡接收聚合物彈性探針陣列在掃描待測樣品表面時因壓縮形變而反射的光強信號，呈現光強信號對應的物像；攝像裝置采集物像所對應的光強圖像控制裝置；控制裝置對光強圖像進行處理，獲得待測樣品的表面形貌圖像。上述技術方案解決了傳統光學成像鏡分辨率低，原子力顯微鏡掃描表征效率低的技術問題，提高待測樣品表面形貌圖像的分辨率和表征效率，且聚合物彈性探針陣列具有制備成本低、對樣品表面無損傷、可大面積制備陣列和可反復使用的優點。
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