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MEMS高溫壓力傳感器自動鍵合機

1074   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:58
本發明提供的是一種MEMS高溫壓力傳感器自動鍵合機,它包括臺面,在臺面上設置物流臺、操作手、加熱爐和顯微鏡,操作手安裝在由4個軸控制的4自由度操作手工作臺上,加熱爐安裝在由2個軸控制的2自由度定位工作臺上,顯微鏡安裝包括可上下運動的軸的顯微鏡自動調焦工作臺上。本發明基于顯微視覺的高精度、非接觸式測量,實現了不論是正面還是反面MEMS高溫壓力傳感器的高精度對準作業;融合視覺/微力覺信息,實現芯片和玻璃基的高精度、無損抓取和搬運;設備的高自動化程度使得其具有批量制造能力,提高了生產效率。
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聲明：
“MEMS高溫壓力傳感器自動鍵合機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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