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α-IGZO薄膜傳感陣列的影像傳感器及其制備方法

1204   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:58
α-IGZO薄膜傳感陣列的影像傳感器及其制備方法，屬于半導體器件及其制備方法技術領域，包括呈交叉排列的一組柵極線和一組數據線、以及由所述柵極線和數據線所界定的呈陣列狀排布的像素單元，所述像素單元包括一個薄膜晶體管器件和一個光電二極管器件，所述薄膜晶體管器件，包括相對形成溝道的源極和漏極，所述源極和漏極之間設置有α-IGZO薄膜島，所述漏極與數據線連接。通過用α-IGZOTFT制成α-Si:HPIN傳感器，應用于實時X射線醫療影像（熒光透視）系統和/或無損測試系統，進而改進系統性能。使用α-IGZOTFT后的遷移率要比目前商用非晶硅TFT的高出10~15倍,具有較低的截止電流，其信噪比也降低了約30%。大幅提高了實時醫療X射線影像品質。
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