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光子篩相襯物鏡、制造方法及成像方法

1155   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:58
一種光子篩相襯物鏡,包括由基底和設于所述基底上的多個透光孔所形成的光子篩透鏡及設于所述光子篩透鏡表面的變相板,所述變相板位于所述光子篩透鏡的中部或環繞于所述光子篩透鏡的邊緣,且所述光子篩透鏡的中心與變相板的中心在同一軸線上。此外,還提供光子篩相襯物鏡的制造方法及成像方法。上述光子篩相襯物鏡、制造方法及成像方法,采用光子篩透鏡抑制旁瓣和高階衍射焦點,成像分辨率和成像對比度高;光子篩透鏡與變相板刻蝕在同一基底上且變相板設在光子篩透鏡的表面,光子篩透鏡的中心與變相板的中心在同一軸線上,能夠精確對準,同時降低了曝光時間和曝光劑量,可以實現弱吸收材料內部微細結構的高成像分辨率和高成像襯度無損探測。
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