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激光探針微區成分分析儀

994   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:57
本發明屬于激光探測技術領域,具體為一種激光探針微區成分分析儀。其結構為:激光器,擴束鏡和第一全反射鏡依次位于同一水平光路上;第一全反射鏡的反射面與水平光路的夾角為45度;工業CCD位于第一全反射鏡的上方,工業CCD和第一聚焦物鏡自上而下依次放置且光軸重合;三維工作臺的工作臺面位于第一聚焦物鏡的下方;全反射鏡活動安裝在樣品的反射光路上,光纖探頭位于全反射鏡的反射光路上;工業CCD通過光纖與帶有顯示器的計算機連接,光纖探頭與光柵光譜儀、增強型CCD和計算機連接。該激光探針儀能對物質微區元素進行無損探測,能滿足各種材料及尺寸的器件的快速元素成分定性分析,還可以針對樣品微區的微量甚至痕量元素進行高精度的定量分析。
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“激光探針微區成分分析儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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