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電力半導體生產用浸沒式光刻機

1161   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:56
本實用新型涉及光刻機技術領域，公開了電力半導體生產用浸沒式光刻機，包括操作臺，所述操作臺的上端左側固定安裝有機架，所述機架上固定安裝與檢測頭，所述機架的下側設有移動臺，所述操作臺的上端右側固定安裝有清洗箱。本實用新型將芯片置于鏤空清洗籃內，然后啟動超聲波發生器對芯片進行清理，然后啟動伺服電機帶動鏤空清洗籃上升，然后啟動暖風機，從而對芯片進行干燥，由于超聲波對芯片表面無損傷，對深孔、細縫和芯片隱蔽處亦可清洗干凈，清理效果好，提高芯片的合格率，較為實用，適合廣泛推廣和使用。
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“電力半導體生產用浸沒式光刻機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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