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用粘附性判定標準值判斷薄膜粘附性好壞的一種方法

848   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:55
本發明提供用粘附性判定標準值判斷薄膜粘附性好壞的一種方法，包括：利用指數內聚力模型的勢函數作為薄膜襯底結構中薄膜襯底界面單元的本構模型，建立考慮界面粘附性的有限元模型；獲得襯底和薄膜間最大界面應力隨粘附性變化而變化的趨勢；利用獲得的最大界面應力隨參數σmax/δn變化而變化的趨勢圖，來確定粘附性判定標準值；將最大界面應力飽和值的95％設置為最大界面應力標準值，把最大界面應力標準值對應的參數σmax/δn的取值作為粘附性好壞的判定標準值；檢測樣片的粘附性值；根據粘附性判定標準值判斷得出樣片粘附性好壞。本發明可無損、快速、準確的判斷出薄膜與襯底間的粘附性的好壞。
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聲明：
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