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基于超短脈沖激光修復單晶金剛石晶體結構的方法

1028   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:53
本發明公開了一種基于超短脈沖激光修復單晶金剛石晶體結構的方法。本方法采用X射線衍射、激光拉曼光譜等檢測技術，能夠快速、無損地對金剛石整體及局部區域的結晶質量進行判定。通過皮秒、飛秒等超短脈沖高能激光束，對金剛石中晶體質量較差的區域進行輻射退火處理，從而靈活、高效地修復其晶體結構。結合超短脈沖激光作用時間短、熱影響范圍小、能量密度高的特點，通過工藝參數的調節，以及退火氛圍、溫壓條件的控制，該方法能夠快速且有針對性地促進金剛石表層晶格損傷的修復，提高其晶體質量，特別適用于摻雜金剛石薄膜，能夠有效提高其均勻性和晶體質量，優化薄膜的工藝性能。
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“基于超短脈沖激光修復單晶金剛石晶體結構的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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