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藍寶石襯底的高效混合磨料化學機械拋光液

883   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:53
本發明屬于硬脆材料的超精密加工技術領域，提供了一種藍寶石襯底的高效混合磨料化學機械拋光液。該高效混合磨料化學機械拋光液包括混合磨料、表面活性劑、螯合劑、pH調節劑和去離子水?；瘜W機械拋光后，在105×141μm2的較大檢測范圍下，藍寶石襯底的表面粗糙度Ra為0.530nm，材料去除速率為6.78μm/h。實現了藍寶石襯底的超高材料去除速率和無損傷的亞納米級表面粗糙度的化學機械拋光。
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“藍寶石襯底的高效混合磨料化學機械拋光液” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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