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精密氣浮平臺

841   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:53
本發明涉及一種精密氣浮平臺，屬于運輸裝置技術領域，氣浮平臺包括一個或多個相互平行的支承表面，支承表面包括正壓單元和負壓單元；正壓單元包括壓力出口，壓力出口提供加壓氣體，且用于產生支承被承載物的支承氣膜；負壓單元包括壓力入口，壓力入口提供低于環境壓力的壓力值，產生與支承氣膜相反的吸附壓力；每一個正壓單元和負壓單元的周圍圍繞有大氣連通槽，大氣連通槽局部排出所述壓力出口的質量流量或局部提供壓力入口的質量流量，使所述大氣連通槽處的壓力保持為環境壓力。通過采用上述技術方案，能讓薄型柔性物體穩定、可靠、無接觸地懸浮于氣浮平臺上，實現低摩擦、高精度、無損、高效的支承、運輸、檢測和加工處理。
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聲明：
“精密氣浮平臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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