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基于光子晶體的液體傳感器

1001   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:51
本實用新型涉及液體檢測技術領域，提供了一種基于光子晶體的液體傳感器，包括有厚度為h2的單晶硅層2；單晶硅層2向上延伸出若干個周期性排列的單晶硅圓柱體1，單晶硅圓柱體1的厚度為h1、半徑為r，水平相鄰單晶硅圓柱體之間水平間距為a，豎向相鄰單晶硅圓柱體之間的垂直間距為b；單晶硅層2下表面固定有厚度為h3的銀襯底3，且h3＞＞h1、h2。本實用新型提供的液體傳感器對環境介質具有高靈敏性，能夠進行高精度、無損測量。
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