本發明公開了基于表面高度信息的陶瓷材料微觀組織表征方法及系統,包括:對陶瓷及陶瓷基復合材料進行切割取樣后,通過對切割面進行預處理,獲得陶瓷樣品;采集陶瓷樣品的待測微區表面的三維形貌信息,通過放大、校平等步驟進行處理后,獲取表面三維形貌的高度信息;基于高度信息,生成待測微區表面的微觀組織特征;本發明無需對不導電陶瓷基復合材料表面噴金/碳/鉑、無需抽真空、避免了掃描電鏡電子束與材料表面物質作用產生微損傷和反應,即可以通過無損方法獲得陶瓷基復合材料微觀組織結構表征,通過檢測陶瓷組成相磨損高度信息差異并投射為二維圖像,具有原理創新性以及良好的襯度和表征效率。
聲明:
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