本發明公開了一種渦流膜厚傳感器,涉及無損檢測技術領域。該傳感器包括:激勵線圈、對消線圈、磁傳感器、激勵電路和驅動分析電路,其中,激勵線圈位于待測樣品的上方,用于產生激勵磁場;對消線圈與激勵線圈串聯連接,且與激勵線圈同軸,用于產生對消磁場;磁傳感器位于激勵線圈與對消線圈之間,用于測量待測樣品、激勵線圈與對消線圈之間的磁感應強度信號;激勵電路分別與激勵線圈和對消線圈連接,用于產生激勵信號;驅動分析電路分別與激勵電路和磁傳感器連接,用于根據激勵信號和磁感應強度信號確定待測樣品的膜厚。本發明能夠降低渦流膜厚測量對設備動態范圍的要求,使磁傳感器的高靈敏性能可以充分發揮,因此可以大幅提高膜厚分辨能力。
聲明:
“渦流膜厚傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)