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渦流膜厚傳感器

837   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:50
本發明公開了一種渦流膜厚傳感器,涉及無損檢測技術領域。該傳感器包括:激勵線圈、對消線圈、磁傳感器、激勵電路和驅動分析電路,其中,激勵線圈位于待測樣品的上方,用于產生激勵磁場;對消線圈與激勵線圈串聯連接,且與激勵線圈同軸,用于產生對消磁場;磁傳感器位于激勵線圈與對消線圈之間,用于測量待測樣品、激勵線圈與對消線圈之間的磁感應強度信號;激勵電路分別與激勵線圈和對消線圈連接,用于產生激勵信號;驅動分析電路分別與激勵電路和磁傳感器連接,用于根據激勵信號和磁感應強度信號確定待測樣品的膜厚。本發明能夠降低渦流膜厚測量對設備動態范圍的要求,使磁傳感器的高靈敏性能可以充分發揮,因此可以大幅提高膜厚分辨能力。
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