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硅基底多層線圈結構的微型渦流傳感器

1287   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:43
本發明涉及一種硅基底多層線圈結構的微型渦流傳感器，屬于微傳感器領域，用于金屬構件表面微裂紋檢測。該傳感器基于200μm厚的三寸硅基片由單層激勵線圈、多層檢測線圈以及導通層和絕緣層構成。每兩層檢測線圈成反向螺旋環繞通過中心導線柱串聯導通，保證其中感應電流流向一致增強檢測信號；檢測線圈和激勵線圈之間填充二氧化硅絕緣層。檢測線圈截面尺寸為10μm×10μm、20μm×15μm、30μm×15μm三種且每個線圈均為10匝，對應激勵線圈截面尺寸為140μm×20μm、290μm×20μm、430μm×20μm且均為單匝。電感線圈呈方形和圓形兩種平面螺旋并根據形狀及尺寸呈矩陣式分布以增加檢測面積提高檢測效率。本發明是基于微機電系統MEMS通過UV-LIGA為精密加工工藝，具有結構纖薄、微小化、靈敏度高、效率高的優點，適合金屬工件表面微缺陷的無損檢測。
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