原子力聲學顯微鏡懸臂梁接觸諧振頻率追蹤系統主要用于快速獲取原子力顯微鏡懸臂梁的接觸諧振頻率,進而實現原子力聲學顯微鏡的快速彈性模量成像,屬于無損檢測領域。本發明基于原子力顯微鏡懸臂諧振曲線峰值對應的電壓信號,控制壓控振蕩器輸出諧振中心頻率的正弦電壓信號激勵壓電傳感器的原理。主要包括與原子力聲學顯微鏡懸臂梁的光電二極管探測器連接的有效值直流轉換電路(RMS-DC)、與原子力聲學顯微鏡的壓電傳感器連接的壓控振蕩器(VCO),以及處理頻率信號的DSP控制板。DSP控制板控制VCO輸出諧振中心頻率的正弦電壓信號激勵壓電傳感器,得到諧振曲線,進而得到諧振曲線的中心頻率,實現了一種快速自動頻率跟蹤系統。
聲明:
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