本發明涉及一種激光掃描熱波成像方法,采用高功率激光束,由光束偏轉裝置控制對樣品的表面進行快速掃描,實現脈沖熱激勵。利用脈沖激勵的快速降溫周期進行移相熱波無損檢測,探測近樣品表面的缺陷。再利用激光重復掃描積累的熱能在退溫時的長周期進行常規熱波無損檢測,探測樣品深部的缺陷。這樣通過在激光掃描熱激勵和去激勵過程采用不同的熱波檢測方法,實現對樣品從淺表層到內部深層缺陷的同時探測。
聲明:
“激光掃描熱波成像方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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