本發明公開了一種微束微區X射線探針分析儀,采用了X光管與聚焦毛細管的方式產生X射線對待檢測樣品微區進行特征X射線激發,所述分析儀主要包括:電子微動測量平臺,用于對樣品微區進行定位,獲取樣品微區的圖像信息,XRF能譜儀實現樣品的X射線檢測,并將能譜曲線發送到PC機;PC上位機軟件系統,通過相應的控制設備的控制實現譜線的分析,并獲取分析后的結果。本發明實現了樣品的無損檢測,且檢測時無須對樣品進行表面導電處理,同時采用了激光定位系統實現了系統的自動定位,方便了用戶的操作并節約了操作所需的時間。
聲明:
“微束微區X射線探針分析儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)