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微束微區X射線探針分析儀

1062   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:40
本發明公開了一種微束微區X射線探針分析儀,采用了X光管與聚焦毛細管的方式產生X射線對待檢測樣品微區進行特征X射線激發,所述分析儀主要包括:電子微動測量平臺,用于對樣品微區進行定位,獲取樣品微區的圖像信息,XRF能譜儀實現樣品的X射線檢測,并將能譜曲線發送到PC機;PC上位機軟件系統,通過相應的控制設備的控制實現譜線的分析,并獲取分析后的結果。本發明實現了樣品的無損檢測,且檢測時無須對樣品進行表面導電處理,同時采用了激光定位系統實現了系統的自動定位,方便了用戶的操作并節約了操作所需的時間。
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